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Elli-3u
Laserbasiertes Ellipsometer im mittleren Infrarot



λ bis 20 µm

Verfügbare Wellenlängen auf Anfrage

Flexibel und modular

Mapping, Positionierhilfe, kompaktes Package

Höchste Präzision

Extrem schmalbandig und hohe Ortsauflösung

Intuitiv und benutzerfreundlich

Plug & Play über GigE-Schnittstelle


Was bieten wir?

Unser MIR-Ellipsometer mit rotierendem Analysator Elli-3u löst alle Probleme, die den flächendeckenden Einsatz der Ellipsometrie im mittleren Infrarot bisher behindert haben: Hohe Kosten, lange Messzeiten, ausladende Abmessungen, komplexe Bedienung und sperrige Software.
Dank moderner Konstruktionsmethoden erreichen wir in einem Package von 40 cm * 40 cm * 30 cm bei einem Gewicht von unter 15 kg eine Featuredichte, die ihresgleichen sucht.

Elli-3u Package. Elli-3u

Die herausragende Präzision und Belichtungsleistung unserer Laserlichtquelle (Wellenlänge bis 20 µm) ermöglicht blitzschnelle Messungen in Sekundenbruchteilen mit einer Ortsauflösung von < 100 µm. Zusammen mit der Genauigkeit der automatischen Winkeleinstellung von < 0,5° über den vollen Bereich zwischen 0° und 90° ermöglicht dies ebenfalls automatisiertes X-Y-Mapping.
Ein integriertes, digitales Mikroskop mit 2,1MP Auflösung und ein Hilfslaser vereinfachen die Positionierung der Probe, wobei die Probenaufnahme nach Kundenwunsch angepasst werden kann. Die manuelle Tilt-Stage kann in X- und Y-Richtung um bis zu ±1,8° verkippt werden.

Arme horizontal Arme in oberer Position

Das Ellipsometer wird über eine standardisierte GigE-Schnittstelle angebunden und kann von jedem Computer aus bedient werden. Die Anwendersoftware ist intuitiv und ermöglicht neben der Erstellung individueller Messsequenzen auch die manuelle Ansteuerung aller Komponenten des Ellipsometers. Nach einmaliger Positionierung der Probe sind alle weiteren Funktionen über das Netzwerk verwendbar.

Und das alles zu unschlagbar günstigen Anschaffungskosten.

Probenhalter und Mikroskop Laserlichtquelle

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